电子半导体洁净区独立空调风系统设计要点
一、分区原则
按洁净等级划分：ISO3/4 级、ISO6/7 级、ISO8 级分别配专属风系统，适配不同风速、过滤等级。
按工艺与污染物划分：光刻、刻蚀、清洗、封装等工段独立设系统；产酸碱气、有机溶剂、粉尘、AMC 分子污染物的区域，与精密制程风路完全隔离，禁止回风互通。
功能区分开：生产区、缓冲间、更衣区、仓储区系统独立，避免工况互相干扰。
二、空气过滤设计
新风：初效 + 中效两级过滤，拦截大颗粒粉尘。
送风主干：配置 HEPA 高效过滤器；超高洁净区末端加装ULPA 超高效过滤器。
存在气态污染物区域，增设化学过滤段（酸碱吸附、活性炭），去除 AMC 与腐蚀性气体。
高污染工位采用全新风运行，不循环回风；所有过滤器加装压差监测，阻力超限报警。
三、温湿度与风量控制
采用高精度恒温恒湿机组，精密工序温控精度 ±0.1℃、湿控 ±1% RH，各系统参数单独设定。
单向流区域保证截面风速稳定，乱流区按等级匹配换气次数；风机配变频模块，适配负荷变化。
增设风量补偿装置，抵消开门、设备启停带来的风量波动。
四、气流与压差控制
建立阶梯正压梯度：高洁净区＞低洁净区＞辅助区，相邻区间压差 5~10Pa，系统联动稳压，防止气流倒灌。
高等级区域采用 FFU 满布垂直单向流；常规区域采用顶送侧回 / 下回布局，杜绝涡流与积尘死角。
各支风管设置独立风阀，可单独调节风量、启闭管路。
五、风管与管路构造
风管选用不锈钢或优质镀锌钢板，内壁光滑、不产尘、耐腐蚀，接口全密封，严控漏风率。
管路尽量短直，减少弯头、变径；全程做保温防结露，外表平整易清洁。
不同系统风管分路敷设，不共用管井、桥架。
六、排风、废气及安全设计
酸碱废气、有机废气、工艺粉尘、普通排风分路收集、独立管道，分类处理后排放。
涉有毒、易燃易爆气体区域，选用防爆风机，搭配气体检测、应急排风联锁装置。
风管按规范装设防火阀，火灾时分段切断风路，阻断烟气扩散。
七、自控与运维
每套系统配置独立传感、控制、报警单元，实时监测温湿度、压差、设备运行状态。
支持单系统独立启停、检修、消杀，局部作业不影响其他区域生产。
机房分区密闭设置，防尘降噪，预留专属检修空间。
