电子半导体洁净区独立空调风系统设计要点
结合行业规范与工艺需求，分维度梳理核心设计要点：
一、系统分区原则
按工艺制程分区：光刻、刻蚀、镀膜、封装、测试等不同工段单独设风系统，产生酸碱、有机废气、粉尘的区域与精密制程完全分隔。
按洁净等级分区：ISO3/4 级超高洁净区、ISO6/7 级、ISO8 级区域独立配机组，匹配不同换气次数、过滤等级。
按污染物类型分区：含 AMC 分子污染物、腐蚀性气体、金属粉尘的区域，设置专属排风 + 送风体系，严禁风路互通。
二、空气处理与过滤配置
采用多级过滤梯度：新风段设初效 + 中效过滤，送风主段配高效 HEPA，超高洁净区末端加装ULPA 超高效过滤器。
涉 AMC、腐蚀性气体区域，风道增设化学过滤段（活性炭、酸碱吸附滤料），去除气态污染物。
回风系统分区独立，不跨区域混用回风，高污染区域尽量采用全新风模式。
三、温湿度与风量控制
各系统搭载高精度恒温恒湿机组，精密制程控温精度 ±0.1℃、控湿精度 ±1% RH，分区单独设定参数。
风量按洁净等级匹配：单向流区域保证截面风速稳定，乱流区严格执行对应换气次数，设置变频风机按需调节。
设置风量监测与自动补偿装置，应对门体开启、设备启停带来的风量波动。
四、压差与气流组织
逐级建立压力梯度：高洁净区＞低洁净区＞辅助区，相邻区域压差维持 5~10Pa，系统联动稳压，防止气流倒灌。
高等级区域采用FFU 满布垂直单向流，普通区域采用顶送侧回 / 下回，独立风道保证气流均匀、无涡流死角。
风管走向规避气流短路，支风管设置独立风阀，可单独启闭、调节。
五、风管与机房构造
风管选用镀锌钢板 / 不锈钢材质，内壁光滑、不产尘、耐腐蚀，风管法兰密封严实，减少漏风。
风管尽量短直，减少弯头、变径；明装风管做防尘防护，全部管路做保温防结露。
机房分区布置，机组、风机、风管专属对应区域，机房密闭防尘，独立检修通道。
六、排风、废气与安全设计
工艺废气、酸碱废气、有机废气、粉尘排风分路独立收集，不与普通排风共用管道，排风末端设高效过滤 + 处理装置。
易燃易爆、有毒气体区域，系统配置防爆风机、密闭风阀，设置应急排风与气体联动联锁。
各风系统配置独立消防排烟、防火阀，满足洁净厂房消防规范，火灾时分区切断风路。
七、运维与自控
每套系统配备独立电控、传感器、报警装置，实时监测温湿度、压差、过滤器阻力、风机状态。
支持单系统启停、检修、消毒，局部停机不影响其他区域生产。
过滤器设置压差报警，及时提醒更换，保障过滤效率。
