电子半导体洁净区独立空调风系统设计要点

一、系统分区规划

按工艺 & 污染物分区：光刻、镀膜、刻蚀、清洗、封装等工段分设系统；产生酸碱气、有机溶剂、金属粉尘、AMC 污染物的区域，与精密制程完全风路隔离，严禁回风互通。

按洁净等级分区：ISO3~4 级超高洁净区、ISO6~7 级、ISO8 级单独配机组，匹配不同风速、换气次数与过滤标准。

按功能分区：生产区、更衣区、缓冲间、仓储区分开设置，避免工况互相干扰。

二、过滤系统设计

新风采用初效 + 中效两级前置过滤，主管段配 HEPA 高效过滤器；超高洁净区末端加装ULPA 超高效过滤器。

存在气态污染物区域，增设化学过滤段（酸碱吸附、活性炭），去除 AMC、腐蚀性气体。

污染较重工位优先采用全新风，减少回风循环带来的二次污染。

过滤器装设压差监测装置，阻力超标自动报警。

三、温湿度与风量控制

配置高精度恒温恒湿机组，精密制程温度控制 ±0.1℃、相对湿度 ±1% RH，各系统参数独立设定。

单向流区域保证截面风速稳定，乱流区严格匹配对应换气次数；风机采用变频控制，适配负荷变化。

设置风量补偿装置，抵消开门、设备启停造成的风量波动。

四、压差与气流组织

建立阶梯正压：高洁净区→低洁净区→非洁净区，相邻区域压差 5~10Pa，系统联动稳压，防止气流倒灌。

高等级洁净室采用 FFU 满布垂直单向流；常规区域采用顶送侧回 / 下回，规避涡流、积尘死角。

各支路加装独立调节阀，可单独调节风量、启闭管路。

五、风管与管材要求

风管选用不锈钢 / 优质镀锌钢板，内壁光滑、不产尘、耐腐蚀，所有接口做密封处理，严控漏风率。

管路尽量短直，减少弯头、变径；全程做保温防结露，表面防尘易清洁。

不同系统风管分道布设，不共用管井、桥架。

六、排风、废气与安全防护

工艺废气、酸碱废气、有机废气、粉尘排风分路独立收集处理，不共用排风管道。

有毒、易燃易爆气体区域，配套防爆风机、应急排风、气体检测联锁装置。

风管按规范加装防火阀、排烟设施，火灾时分区切断风路，阻断烟气蔓延。

七、自控与运维

每套风系统配备独立传感器、控制器、报警模块，实时监测温湿度、压差、风机运行状态。

支持单系统独立启停、检修、消杀，局部停机不影响整体生产。

机房分区独立设置，密闭防尘，预留专用检修空间